第一八二七章 犹豫不决-《我的一九八五》
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两人参观完后,犹豫不决,约在一起,由阿密特给孙健打电话。
阿尔特曼和阿密特都兼任GCA的董事,虽然Intel和AMD是竞争对手,但两人的私人关系不错。
GCA、Intel和AMD既是Sematech会员,还是GCAEUV光刻机股份公司的重要股东。
要是GCA的光刻机和Nikon的光刻机制程一样,价格差不多,Intel和AMD都会购买GCA的。
由于BSEC拒绝给尼康的65nm制程工艺干式光刻机NSR-S308F专门升级双工作台系统,NSR-S308F装配的还是90nm制程光刻机的双工作台系统,工作效率比TWINSCANNXT:2230i低15%左右,加上价格贵45%,NSR-S308F除了SELETE购买了3台,没有听说其他晶圆厂购买。
DSP-100也没有升级双工作台系统,这是一个重大劣势;预定价格3500万美元,比之前购买的TWINSCANNXT:2230i贵了2000万美元,这可以理解。
干式光刻机和浸润式光刻机各有优缺点。
干式工艺需要CVD沉积、干显影、干蚀刻等多环节,设备占地面积为浸润式的5倍以上,综合成本约为浸润式的3倍。但干式工艺材料消耗仅为浸润式的15-110,每片晶圆能耗降低50%,长期看可减少光刻胶用量30%以上,减低供应链风险。
但晶圆厂从浸润式光刻机换成干式光刻机,需要在光刻胶类型及涂布方式、光学系统调整、设备配套设施、工艺参数优化、成本投入变化等方面调整,工程师们需要很长的时间才能适应。
预定45nm制程的光刻机到45nm制程工艺的半导体生产线量产,一般建设周期需要一年左右。
哪家先预定DSP-100,哪家就能先拿到!
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