第(2/3)页 见此,陆院长便介绍起了最后一位院士: “接下来要介绍的是郭灵院士,郭灵院士是少数能拿到物理与数学两次院士头衔的院士。 这次郭灵院士负责的是光刻机的数学以及物理方面的工作。” 闻言,现场的记者与嘉宾们自然是点头用热烈的掌声回应这一切。 此时现场不少嘉宾以及记者看到这研发队伍强大的一幕,纷纷感慨这次光刻机真的有很大的可能,毕竟这次研发队伍真的很强大啊。 金属材料有卢科院士、数学与物理方面有郭灵院士、光学玻璃方面有顾安院士。 光刻机负责人方面又有光刻机之父徐端顾教授,然后加上全能奇才林晨与数百个研究生、博士、博士后…… 最后资金方面又有了30亿随便用,面对此情此景,现场的记者们已经感觉这第5代浸没式光刻机似乎已经十拿九稳了。 当然,虽然知道了研发团队的相关名单与大致资料,但还有一个重要问题记者们可不知道。 只见此时一个洋人记者缓缓举起了手,看他话筒上的商标,那赫然是环求日报的记者。 “这位记者先生请问吧。” 此时陆院长温和的对那环求日报的记者说了一句。 见此,那环求日报的记者缓缓放下了手,然后目光灼灼的盯着陆院长发问道: “陆院长你好,请问你们的第5代浸没式光刻机什么时候能研发完成呢?有一个大致的时间吗?” 面对那环求日报记者的问话,陆院长看了一眼林晨,在得到林晨的轻轻点头后缓缓回答道: “研发完成主要分为两个步骤,如同我之前所提到的90纳米与60纳米两个制程工艺。 首先最先推出的应该是90纳米制程工艺级别的第5代浸没式光刻机,这第5代浸没式光刻机预计落地时间是在2004年结束之前。 至于65纳米制程工艺方面,我们预计推出的时间是2005年结束之前。 也就是说我们是计划用一年时间达到90纳米,然后用两年时间将光刻机推进到65纳米的层次。” “咔嚓咔嚓咔嚓咔嚓咔嚓咔嚓……” 第(2/3)页